激光混合氣
一切以氣體或蒸汽作為激光工作物質的激光氣，統稱為氣體激光氣。這是目前種類最多、發展最快應用最廣的一類激光器。通?？梢园褮怏w激光器劃分為原于氣體激光器、離子氣體激光器、分子激光器和準分子激光器、氣體激光器的激勵方式很多，通常采用氣體放電激勵，此外還可采用電子束激勵、氣動式激勵、化學激勵、光激勵和核動激勵等。氣體激光器與液體激光器、固體激光器和半導體激光器一樣，已經實現了實用化。它已廣泛用于工農業生產、科學研究、國防建設和醫療衛生等領域。氣體激光器的重要特點之一，激光工作物質是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、
水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡（面）和電極上的耗損，還會引起激光發射的不穩定。因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦（He）氖（Ne）激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化氪（KrF）激光，可稱為第三代激光。
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常見的激光混合氣的組成和主要用途：
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類別
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混合氣組成/（10-2）
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用途
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H2
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Ne
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Ar
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N2
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CO2
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Kr
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F
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Xe
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CO
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HCl
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平衡氣
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氦氖激光
混合氣
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2-8.3
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He
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用于工業生產，科學研究和國防建設等領域
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CO2激光
混合氣
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0.4
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13.5
13.0
8.0
6.0
16.0
8-12
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4.5
7.0
8.0
8.0
16.0
6-8
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2.0
4.0
2.0
4.0
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主要用于激光加工，如金屬、陶瓷的切割、焊接與鉆孔以及醫療上的激光外科等
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氪氟激光
混合氣
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5.0
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10.0
1-0.2
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用于保護膜導光以及化學反應等領域。貯存器制造中的石板印刷已開始使用氟化氪激光
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密封束
激光氣
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18.5
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3
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2.5
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作研究用的密封束激光氣
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準分子
激光氣
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25.8
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9.8
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0.004
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1
5
0.2
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5.0
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Ar
He
He
Ar
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準分子激光器用于醫療上的外科手術
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