| 氣體名稱 | 規格 | 主要用途 | |||
| 氣體純度% | 氣體裝量 | 鋼瓶體積/L | 閥門型號 | ||
| 超純氮 | N6.0 | 13MPa | 40 | G5/8 | 在電子工業中高純氮氣是半導體集成電路生產工藝不可缺少的保護氣、載氣。 |
| N6.0 | 13MPa | 40 | CGA580 | ||
| N6.0 | 13MPa | 40 | CGA540 | ||
| 純氮、高純氮、超純氮（GB/T8979-2008) | |||
| 項目名稱 | 指標 | ||
| 超純氮 | 高純氮 | 純氮 | |
| 氮氣（N2)的體積分數/10-2 ≥ | 99.9999 | 99.999 | 99.99 |
| 氧氣（O2)的體積分數/10-6 ≤ | 0.1 | 3 | 50 |
| 氬（Ar）的體積分數/10-6 ≤ | 2 | — | — |
| 氫氣（H2)的體積分數/10-6 ≤ | 0.1 | 1 | 15 |
| 一氧化碳（CO)的體積分數/10-6 ≤ | 0.1 | 1 | 5 |
| 二氧化碳（CO2)的體積分數/10-6 ≤ | 0.1 | 1 | 10 |
| 甲烷（CH4)的體積分數/10-6 ≤ | 0.1 | 1 | 5 |
| 水分/10-6 ≤ | 0.5 | 3 | 15 |
| 注：表中純度和含量均以體積分數表示（V/V)。 | |||
