| 六氟化硫商品詳細介紹 | ||
| A colorless,nonflammable,liquefied gas.(一種無色、不燃、液化氣體) | ||
| Formula（分子式）： | SF6 | |
| Molecular weight(分子量): | 146.05g/mol | |
| Boiling point(沸點): | -50.8℃ | -64.84°F |
| Melting point(熔點)： | -63.7℃ | -82.66°F |
| Vapor pressure(蒸汽壓): | 2200KPa（21.1℃） | 320Psia(70°F) |
| Specific volume(比容): | 0.16m3/kg(21.1℃,101.325KPa） | |
| 2.15ft3/lb(70°F,14.696psia) | ||
| Threshold Limit Value（人體的最高容許濃度）: | 1000ppm | |
| UN Number(UN號碼)： | UN1080 | |
| DOT Classification(DOT類別): | 2.2(Nonflammable Gas)(不燃氣體) | |
| DOT Lable(DOT標簽): | Non-flammable gas (不燃氣體) | |
| 六氟化硫純度規格 N4.0 | ||
| Purity(P組分): | Specification(標準） | Result(結果) |
| SF6(六氟化硫)： | ≥99.99% | ＞99.99% |
| Oxygen(氧)+ Nitrogen(氮)+ Carbon Monoxide(一氧化 碳)： | ≤50ppm | ＜45ppm |
| Carbon Tetrafluoride(四氟化碳): | ≤15ppm | ＜14ppm |
| Acidity as HF(酸性物,如氟化氫)： | ≤1.0ppm | ＜1.0ppm |
| Water(水): | ≤8ppm | ＜6ppm |
| others（氣體雜質）： | ≤15ppm | ＜13ppm |
| 電子六氟化硫純度規格 N5.0 | |
| Purity(組分): | Specification(標準） |
| SF6(六氟化硫)： | 99.999% |
| Oxygen(氧)+ Nitrogen(氮)+ Carbon Monoxide(一氧化 碳)： | ≤5 ppmv |
| Carbon Dioxide(二氧化碳) | ≤1 ppmv |
| Carbon Tetrafluoride(四氟化碳): | ≤5 ppmv |
| Water(水): | ≤3 ppmv |
| Acidity as HF(酸性物,如氟化氫)： | ≤0.1 ppmv |
| 包裝 | 容積 | 重量 | 連接閥門 |
| 小鋼瓶 | 44L 47L | 50Kg | QF-2 QF-13A DISS716 |
| 應用：等離子刻蝕 |
