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電子混合氣
作者:maotoogas    點擊:   發布時間:2015-06-25 17:59

產 品 規 格

品名 濃度 (%) 平衡氣體 壓力(MPa) 容積(L) 閥門
硅烷混合氣體 0.5-50 Ar、N2、He、H2 5-12 4-47 可根據用戶要求提供
磷烷混合氣體 5ppm-23 Ar、N2、He、H2 5-12 0.7-17
硼烷混合氣體 5ppm-10 Ar、N2、He、H2 5-10 4-17
砷烷混合氣體 5ppm-5 Ar、N2、He、H2 5-12 0.7-17
硒化氫混合 10ppm-5 Ar、N2、He、H2 5-12 4-17
乙硅烷 5ppm-2 Ar、N2、He、H2 ≥5 0.7-17
鍺烷 5ppm-0.5 Ar、N2、He、H2 ≥5 0.2-17

包裝:1-40(升)瓶裝,標準充裝壓力:9.5 MPa,組分和濃度范圍可根據要求配制。


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